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《微/纳米光刻、MEMS 和 MOEMS 杂志》（JM3）发表同行评审的论文，内容涉及光刻、制造、封装和集成技术的科学、开发和实践，这些技术对于满足电子、微机电系统、微光机电系统和光子学行业的需求必不可少。
微纳光刻技术杂志创刊于2007年，由SPIE出版社出版。其研究的主题领域包括但不限于Multiple，是一本在物理与天体物理领域具有重要影响力的国际期刊。该期刊涵盖了物理与天体物理的多个子领域，旨在全面理解和解决物理与天体物理问题。
根据最新的数据，微纳光刻技术杂志的影响因子为2.3，CiteScore为4.3，h-index为37，SJR为0.437，SNIP为1.791，中科院分区为3区，这些指标均显示了该期刊在物理与天体物理领域的优秀地位。
该刊以English作为出版语言。对于English非母语的作者，期刊建议使用语言编辑服务，以确保文稿的语法和拼写错误得到纠正，并符合科学English的标准。如果想实现快速顺利的投稿发表，建议您联系本站的客服团队，将为您提供专业的选刊建议，并在整个投稿过程中提供细致的指导。
*期刊发文量是一个量化的指标，用于衡量期刊的出版活动和学术影响力。
*综述文章是一种特定的学术文体，专门用来回顾和总结某一领域或主题的现有研究成果和理论进展。
*发文量和综述量都在学术出版中都扮演着重要的角色，但关注的焦点和目的不同。
| 学科类别 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering | Q2 | 370 / 1030 |
64% |
| 大类：Engineering 小类：Mechanical Engineering | Q2 | 268 / 740 |
63% |
| 大类：Engineering 小类：Condensed Matter Physics | Q2 | 192 / 446 |
57% |
| 大类：Engineering 小类：Atomic and Molecular Physics, and Optics | Q2 | 105 / 243 |
56% |
| 大类：Engineering 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q2 | 151 / 318 |
52% |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 3区 | OPTICS 光学 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 | 3区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 2区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 3区 3区 3区 3区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
*中科院期刊分区表是中国科研界广泛认可的期刊评价体系，是由中国科学院文献情报中心科学计量中心编制的一套期刊评价体系,在中国的科研界具有较高的认可度和影响力，常被用作科研项目评审、职称评定、学术评价等方面的参考依据。
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 221 / 369 |
40.2 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 336 / 472 |
28.9 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 116 / 148 |
22 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 68 / 129 |
47.7 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 250 / 371 |
32.75 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 328 / 473 |
30.76 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q3 | 104 / 148 |
30.07 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 93 / 129 |
28.29 |
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 252 / 352 |
28.6 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q4 | 338 / 438 |
22.9 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.2 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 82 / 119 |
31.5 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 255 / 354 |
28.11 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 311 / 438 |
29.11 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q3 | 103 / 140 |
26.79 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 88 / 120 |
27.08 |
该期刊是一本由SPIE出版社出版的学术期刊，属于JCR分区中按JCI指标学科分区中学科ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC位于Q3区；MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY位于Q3区；NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY位于Q4区；OPTICS位于Q3区；ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC位于Q3区；MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY位于Q3区；NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY位于Q3区；OPTICS位于Q3区；中科院分区为物理与天体物理学科领域3区。该期刊的ISSN为1932-5150，近一年未被列入预警期刊名单，是一本国际优秀期刊。
该期刊涉及的研究领域是Multiple，在中科院分区表中大类学科为物理与天体物理，小类学科为工程：电子与电气、纳米科技、材料科学：综合、光学，在准备向该期刊投稿时，请确保您的研究内容与期刊的研究领域紧密相关至关重要。
Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems期刊2026年的影响因子是2.3，2025年的影响因子是1.8，该期刊审稿周期预计需要约较慢,6-12周，为了确保您的投稿过程顺利进行，请合理规划时间投稿。
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